maxonのスクリュードライブリニアアクチュエータ（リフター）は、真空プロセス環境におけるリフティング作業向けに特別設計されています。
コンパクトなモジュールは、高精度リニアエンコーダのフィードバックと強力なスピンドル機構を統合し、最大90Nのリフト力を高い信頼性で提供します。
信頼性、精度、そして半導体プロセス装置でのシームレスな使用を実現するEtherCATでの指令が可能です。

 

■ストローク/速度
ストローク範囲：1 … 51.5 mm
昇降動作：サイクル時間　約48秒（速度 1 mm/s）

■推力容量
アクチュエータあたり最大90 N
ベローズ圧縮に25％のマージンを確保

■精度を再現性
10 µm 以下の繰り返し精度
アブソリュートリニアエンコーダのフィードバック（1 µm 以下の分解能推奨）

■堅牢設計
電源オフ時はセルフロック
100万サイクル寿命検証済み

■コントローラ
EtherCATインターフェース搭載統合型
モーターコントローラ（SEMI ETG5003-X準拠）、
ロータリーダイヤルによるアドレス調整可能

■環境仕様
周囲温度60℃まで対応設計
超高真空（10⁻⁵ Pa以下 ）対応設計

■外形寸法
縦×横×高さ：36×57×227 mm

■安全規格
必要に応じる
SEMI F47およびUL-94 V0準拠

その他、カスタマイズに応じることが可能です。お問い合わせください。

この製品を採用したアプリケーションに関する記事はこちら。（maxon コーポレートサイトが開きます）