半導体製造装置

半導体の性能向上が次世代技術の飛躍的な発展につながります。回路の微細化・高集積化が性能向上の鍵となります。

シリコンを半導体にするために必要な前工程では微細化と高集積化が常に課題になっています。半導体の前工程に用いられる一部の製造装置や検査装置は日本製のシェアが高いものもあります。

前工程は、主に洗浄→成膜→レジスト塗布→露光・現像→エッチング→イオン注入→レジスト剥離→検査というプロセスで、これに必要な製造装置や検査装置（装置内の真空バルブ開閉装置、XYステージ、搬送アームなど）に高精度・高信頼性のmaxonドライブシステムが多用され活躍しています。

半導体製造装置

近年、半導体製造市場では、EtherCATの標準化が進んでおり、maxonではEtherCAT対応のモータドライバを含めたトータルドライブシステムの提案が可能です。

カスタマからのモータへの要求：	maxonのカスタム対応：
・EtherCAT対応モータドライバ・リニアアクチュエーター・ブラシレス・低振動・高速回転	・真空（グリース）・クリーンルーム対応・高精度位置制御システム・フルカスタムモータ・減速機構