maxonのマイクロリニアステージは、maxonのコアレスブラシレスモーターであるECXシリーズを採用し、ギアとエンコーダをインテグレートした位置決めステージです。象徴的な製品として2種類があり、ストロークの変更や使用環境に合わせたカスタマイズが可能です。

コアレスブラシレスモータを採用しているため、コギングがなく、高い速度安定性が得られます。また、ロータリーエンコーダによるセンサ分解能は0.1μm程度になります。さらに、バックラッシュを抑制するための工夫もされています。

例として、マイクロリニアステージ551842は、長さ54.8mm、奥行き15.5mm、高さ14.3mm（ケーブル除く）となっており、非常にコンパクトです。下図では、実機のサイズ感を示すために、100円玉との比較をしております。

代表的なマイクロリニアステージの仕様（暫定値）

マイクロリニアステージと位置制御ユニットEPOSの構成図は下記のようになります。
複雑な接続はなく、PCによってチューニングや試運転等が可能です。

また、上記のステージは象徴的な製品であり、お客様のご要望に応じてカスタマイズが可能です。それに応じて、最適なモータ、ギア、センサを選択し、可能な限りコンパクトなステージの設計をいたします。

変更可能な仕様例
・ケーブル長、材質変更
・耐荷重増
・速度増
・真空対応（低アウトガスへの最適化）
・ベーキング対応
・精度