電子顕微鏡は、光の代わりに電子線をあてて測定対象物を拡大する顕微鏡であり、光学顕微鏡などに比べ、はるかに高い倍率での観察を可能にするため、顕微鏡としては最高位に位置し、原子解析、次世代材料開発など最先端分野で使用されています。電子顕微鏡では、nm（ナノメートル）クラスの観察も対象になり、騒音や振動は許容されません。

電子顕微鏡の、任意の方向へコンピュータ制御により位置決めをするための「自動ステージ」や「レンズの絞り・昇降」など様々な箇所でmaxonモータが採用されています。試料の観察位置を決めるための「自動ステージ」や「レンズの絞り・昇降」におけるモータへの要求運転速度はそれぞれ異なりますが、コアレスのmaxonモータによるあらゆる運転範囲での安定した回転性能と位置制御ユニットEPOSシリーズによる小型・高位置精度のドライブシステムが、それを可能にします。

カスタマからのモータへの要求：	maxonのカスタム対応：
・低騒音（低電気ノイズ） ・低振動 ・広い運転スピード範囲 ・低回転むら	・シャフト・モータフランジ形状 ・指定コネクタ・エンコーダ取り付け ・真空対応 ・低バックラッシュギアヘッド ・ボールねじ内蔵ギアヘッド（リニアアクチュエーター） ・多軸位置制御システム

採用製品：

DCXプログラム

卓越したトルク密度と低騒音
コアレスのmaxonロータによって、あらゆる状況に対応するダイナミックなドライブ

 

maxon DCXシリーズの概要はこちら
（maxon カタログのPDFが開きます）

 

EPOS

最大の出力密度に改良された機能的な位置制御ユニット
拡張性を持たせたモジュラーコンセプトにより、EtherCATやアブソリュートエンコーダなどが使用可能

 

EPOS4位置制御ユニットの概要はこちら
（maxon カタログのPDFが開きます）