半導体の性能向上が次世代技術の飛躍的な発展につながります。回路の微細化・高集積化が性能向上の鍵となります。 シリコンを半導体にするために必要な前工程では微細化と高集積化が常に課題になっています。半導体 … 続きを読む 半導体製造装置